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Van Zant, Peter.

Microchip fabrication : a practical guide to semiconductor processing / Peter Van Zant. - 5th ed. - 1 online resource. : illustrations ; 24 cm.

Includes bibliographical references and index.

ISBN: 9780071432412

LCCN: 2004040287

Subjects--Topical Terms:
Semiconductores--Diseño y construcción
Circuitos integrados--Diseño y construcción

Dewey Class. No.: 621.38152