Van Zant, Peter. <br/><br/>
Microchip fabrication :  a practical guide to semiconductor processing / 
Peter Van Zant. 
 - 5th ed. 
 - 1 online resource. :  illustrations ;  24 cm. 
<br/><br/>Includes bibliographical references and index. 
<br/><br/><label>ISBN: </label>9780071432412 
<br/><br/><label>LCCN: </label>2004040287 
<br/><br/><label>Subjects--Topical Terms: </label><br/>Semiconductores--Diseño y construcción<br/>Circuitos integrados--Diseño y construcción
<br/><br/><label>Dewey Class. No.: </label>621.38152