Semiconductor manufacturing handbook / 
Hwaiyu Geng, editor in chief. 
 - 1 online resource (various pagings) :  illustrations 
 - McGraw-Hill Handbooks .
<br/><br/>Includes bibliographical references and index. 
<br/><br/><label>ISBN: </label>9780071445597 
<br/><br/><label>Subjects--Topical Terms: </label><br/>Semiconductores--Diseño y construcción--Manuales, guías, etc.<br/>Circuitos integrados--Diseño y construcción--Manuales, guías, etc.
<br/><br/><label>Dewey Class. No.: </label>621.38152