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Extreme ultraviolet lithography / [edited by] Banqiu Wu, Ajay Kumar
Idioma: Inglés Editor: New York : McGraw-Hill, 2009Descripción: 1 online resource (various pagings) : illustrations (some color)Tipo de contenido:- texto
- no mediado
- volumen
- 9780071549189 (alk. paper)
- 0071549188 (alk. paper)
- 621.381531 22
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E-Book
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Sede Quito | 621.381531 (Navegar estantería(Abre debajo)) | Disponible | Ebook00258 |
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Includes bibliographical references and index.
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